10月16日，光刻机指数低开高走，截至10:56，光刻机指数涨超3%，半导体材料ETF（562590）跌幅收窄，跌0.59%，权重股北方华创跌3.51%，中微公司跌2.06%，沪硅产业跌3.23%。

光刻机巨头阿斯麦Q3财报发布。由于Q3订单数据仅为市场预期的一半，叠加下调2025财年指引还引发了股价大跌。

对此，阿斯麦首席财务官Roger Dassen表示，人工智能相关的芯片需求确实在激增，但半导体市场的其他部分比预期更为疲弱，导致逻辑芯片制造商推迟订单，而内存芯片制造商仅计划“有限的”新增产能。

中信证券认为，半导体周期在前期云端算力+存储涨价的因素拉动下显著修复，目前处于温和复苏状态，预计后续主要的成长动力为云端算力的景气度持续+端侧AI的爆发。此外国内半导体产业替代持续推进，受益政策支持、周期反转、增量创新、国产替代多方面利好带动，期待下一阶段有望迎来更好表现。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357）紧密跟踪中证半导体材料设备指数，指数中半导体设备（53.7%）、半导体材料（22.9%）占比靠前，合计权重超76%，充分聚焦指数主题，均为国产替代关键环节。年初至今，半导体材料ETF最新份额达1.33亿份，创年内份额新高，份额扩容近5倍！

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